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kimballphysics IGS-4 IGPS-2014 技術(shù)參數(shù)

更新時(shí)間:2026-08-11   點(diǎn)擊次數(shù):38次

Kimball Physics離子槍系統(tǒng)或離子源用于表面物理、空間物理、真空物理、電荷中和、檢測(cè)校準(zhǔn)、二次離子質(zhì)譜和MBE的離子注入。

操作范圍

能量范圍:10eV至20keV

束流范圍:1 nA至2μA

光斑尺寸范圍:500μm至25 mm

多功能性

柔性控制器:獨(dú)立的光纖控制和計(jì)量功能,如離子能量、源、電子能量、場(chǎng)控制、提取、聚焦、X-Y偏轉(zhuǎn)和電子電流控制。

堿金屬離子源的選擇允許不同的離子種類。

演出

束流穩(wěn)定性:對(duì)于堿金屬源,在發(fā)射電流控制下每小時(shí)±1.0%,在沒(méi)有ECC的情況下預(yù)熱后每小時(shí)±10%。

能量穩(wěn)定性:滿輸出時(shí)每小時(shí)±0.01%,每8小時(shí)±0.02%。

作戰(zhàn)能力

快速電容束或雙柵極脈沖

偏轉(zhuǎn)/光柵

槍裝法拉第杯

描述

能量范圍:10 eV至1 keV

束流:1 nA至100 nA

光斑尺寸:1毫米至5毫米

工作距離:10毫米至200毫米

安裝:2.75英寸CF或可拆卸

功能/選項(xiàng):可聚焦、變焦鏡頭、能量范圍內(nèi)的恒定光斑、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖

其他信息可用。請(qǐng)聯(lián)系銷售人員以獲取更多詳細(xì)信息或定制請(qǐng)求。

Kimball Physics ES-423E(長(zhǎng)壽命)六硼化鑭(LaB6)陰極是一種高性能、電阻加熱的熱離子電子源。目前,它被用于許多亮度受限的電子光學(xué)系統(tǒng):SEM、TEM、探針、電子光刻系統(tǒng)等。LaB6的亮度至少比鎢高一個(gè)數(shù)量級(jí),在寬范圍的加速電壓下提供了 分辨率,使電子顯微鏡應(yīng)用中 的細(xì)節(jié)能夠清晰成像。

用于:

掃描電子顯微鏡

透射電子顯微鏡

電子光刻系統(tǒng)

電子探針微量分析

X射線顯微分析

表面分析

自定義應(yīng)用程序

 

功能/選項(xiàng):

延長(zhǎng)使用壽命

在清潔的真空中運(yùn)行數(shù)千小時(shí)

 穩(wěn)定性

精密加工碳纖維支架

耐高溫性高

高亮度/低能量擴(kuò)散

<100>定向單晶

最佳質(zhì)量/高純度材料

電流密度高達(dá)30 A/cm2

工作壓力<10-7torr

精確的微平臺(tái)

 的光學(xué)性能

受控源大小

可提供標(biāo)準(zhǔn)直徑

適用于大多數(shù)系統(tǒng)的基座

陶瓷AEI底座或各種顯微鏡底座

發(fā)射表面尺寸適合顯微鏡使用


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