LPA26-3

創新、高性能、一體化設計消除了

外部控制器和互連電纜，同時進行維護

兼容性下降

由超低慣性無刷電機驅動，平穩、瞬時

回應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明，

半透明和不透明物體，無機械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運動控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實現與的兼容性和接口

多種半導體平臺

典型的對齊周期時間小于四秒，有助于

實現最大系統吞吐量

LPA26-3規格

晶圓直徑

2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米

晶圓不透明度

透明、半透明、不透明

方形基板

適用

晶圓處理

真空吸盤和銷釘

定心精度

預對準器卡盤上的±25um

Angular

準確度

（3西格瑪）

10000 CPR編碼器

預對準器卡盤上的±0.04°

24000 CPR編碼器

預對準器卡盤上的±0.02°

伺服軸

三

主機通信

RS232、以太網

最大初始晶圓偏移

10mm（2英寸晶圓為6mm）

車身尺寸（寬x長x高）

173毫米x267毫米x190毫米

封裝兼容性

LPA38-3、LPA58-3

LPA4EH-3、LPA5EH-3、lpar6eh-3、LPA8EH-3

重量

5.00kg

所需設施

100-240VAC、50/60Hz、48VA或24VDC/2A

真空12英寸汞柱

平坦/凹口兼容性

符合SEMI標準

潔凈

1級

平均故障間隔時間

超過70000小時